OHT (Overhead Hoist Transport)
웨이퍼가 담겨있는 용기인 FOUP, FOSB 등을 이동시키는 물류 시스템을 의미합니다. 실제 반도체 라인에서 쉽게 볼 수 있는데, 머리 위로 활발하게 움직이고 있는 로봇?입니다. 기존에는 사람이 일일이 웨이퍼를 설비로 직접 이송시켜야했지만, 현재는 OHT가 그 역할을 하고 있습니다. 물론 웨이퍼의 층간 이동은 여전히 어렵기 때문에, 사람들이 카트에 실어 직접 이송시키고 있습니다.
OHT는 원하는 설비로 원하는 시간에 웨이퍼를 이송시킬 수 있는 자율주행시스템이라고 할 수 있겠습니다. 다양한 센서가 있기 때문에 안전하고 신호에 맞게 속도를 감소시키거나 증가시키거나 하면서 원하는 곳으로 이동하게 됩니다. 또한 운송, 고장 등의 상황에서 알람을 통해 알려주곤 합니다.
많은 센서들이 존재하지만, 대표적인 센서로는 대차 감지 센서와 장애물 감지 센서가 있습니다.
대차 감지 센서를 통해 주행시 레일 앞에 다른 OHT가 있는지 확인하고, 충돌을 방지하기 위해 속도를 줄이게 됩니다.
장애물 감지센서를 통해서 전방 장애물 뿐만 아니라 하부 장애물 또는 사람을 확인하여 충돌을 방지하게 됩니다.
OHT는 진동, 속도, 층고 면에서 발전을 하고 있습니다.
이송하는 FOUP 안에 웨이퍼가 담겨 있기 때문에, 진동을 줄여 웨이퍼에 가해지는 충격을 줄이는 방향으로 발전됩니다.
효율을 높이기 위해 충돌 및 안정성 문제도 고려하면서 속도를 높이는 방향으로 발전되고 있습니다.
생산 라인 층고가 높아짐에 따라, 고층고에서 FOUP을 빠르고 정확하게 안착시키는 방향으로 발전되고 있습니다.
Stocker
웨이퍼가 담겨있는 용기인 FOUP, FOSB 등을 저장, 관리, 그리고 운반하는 역할을 하는 자동화 장비입니다. 생산 공정의 자동화와 효율성을 극대화하기 위해 Stocker는 매우 중요한 설비로 자리 잡고 있습니다.
Stocker의 역할 및 기능은 크게 다음과 같습니다.
1. 웨이퍼 보관 및 관리
웨이퍼 운반용 용기들을 보관하는데, 특정 공정 단계에서 처리 대기 중인 웨이퍼가 들어있습니다. Stocker는 이 용기들을 안전하게 저장하고 필요 시 꺼내 사용할 수 있도록 관리합니다.
2. 자동화된 물류
Stocker는 AMHS(Automated Material Handling System)와 연동되어 있습니다. 웨이퍼가 특정 공정 장비로 이동해야 할 경우, Stocker가 이를 자동으로 꺼내서 OHT로 전달하여 이동하게 됩니다. 공정 간 물류를 효율적으로 관리하면서, 수작업이 최소화됩니다!
3. 환경 관리
웨이퍼는 먼지, 습기, 온도 변화에 민감합니다. Stocker는 내부 환경을 최적화하여 웨이퍼를 보호합니다. 일정 온도와 습도를 유지함으로써 내부 환경을 최적화하여, 외부 오염 물질로부터 격리된 환경을 제공합니다.
4. 데이터 관리
Stocker는 각 웨이퍼 포드의 위치와 상태를 실시간으로 기록합니다. 이를 통해 웨이퍼의 위치를 추적하고, 공정의 병목 현상을 방지할 수 있게 됩니다.
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