MFC (Mass Flow Controller)반도체 제조 공정에서는 정확하고 정밀한 가스 제어가 필수적입니다. 많은 공정 설비들이 가스를 사용하기에, 대부분 MFC가 사용됩니다. MFC는 다양한 공정 가스의 유량을 제어하고 조절하는 장비로, 공정의 품질과 효율성을 결정짓는 중요한 역할을 합니다. 오늘은 이 MFC에 대해 알아보도록 하겠습니다. SCCM이란? MFC에서는 주로 'sccm' 라는 단위를 사용합니다. sccm은 'Standard Cubic Centimeter per Minute'의 약자입니다. sccm은 표준상태 (0℃, 대기압)에서 기체가 몇 cc 흐르는지를 나타내는 단위라고 할 수 있겠습니다. 유량을 나타낼 때에는 보통 체적(volumetric) 유량과 질량(mass) 유량으로 나뉩니다..
