OHT (Overhead Hoist Transport)웨이퍼가 담겨있는 용기인 FOUP, FOSB 등을 이동시키는 물류 시스템을 의미합니다. 실제 반도체 라인에서 쉽게 볼 수 있는데, 머리 위로 활발하게 움직이고 있는 로봇?입니다. 기존에는 사람이 일일이 웨이퍼를 설비로 직접 이송시켜야했지만, 현재는 OHT가 그 역할을 하고 있습니다. 물론 웨이퍼의 층간 이동은 여전히 어렵기 때문에, 사람들이 카트에 실어 직접 이송시키고 있습니다. OHT는 원하는 설비로 원하는 시간에 웨이퍼를 이송시킬 수 있는 자율주행시스템이라고 할 수 있겠습니다. 다양한 센서가 있기 때문에 안전하고 신호에 맞게 속도를 감소시키거나 증가시키거나 하면서 원하는 곳으로 이동하게 됩니다. 또한 운송, 고장 등의 상황에서 알람을 통해 알려주곤..
