공돌이 Teo의 이것저것

ESC 외의 웨이퍼를 고정시키는 방법이 궁금하시다면, 아래 글을 참조해주세요. [반도체] Chuck의 종류 : 공정 중에 웨이퍼를 어떻게 고정할까?공정 설비들 내부에 공정이 진행되기에 앞서, EFEM (또는 TM, Transfer Module)의 Robot이 웨이퍼를 공정이 진행되는 PM (Process Module)로 이송시키게 됩니다. PM 내부에서 공정이 진행될 때, 웨이퍼가 흔들리teoengineering.tistory.com  Electrostatic Chuck(ESC)는 이름에서 유추할 수 있듯이, 정전기력을 기본 원리로 웨이퍼를 고정하는 방식입니다. 다시 말하면, Capacitor의 대전된 두 극판 사이에서 발생하는 인력을 가지고 웨이퍼를 고정하는 것입니다. Chucking Force 식은 ..

공정 설비들 내부에 공정이 진행되기에 앞서, EFEM (또는 TM, Transfer Module)의 Robot이 웨이퍼를 공정이 진행되는 PM (Process Module)로 이송시키게 됩니다. PM 내부에서 공정이 진행될 때, 웨이퍼가 흔들리지 않고 고정이 되어야 하겠죠? 오늘은 이 웨이퍼를 어떻게 고정시키는지에 대해서 알아보겠습니다. 웨이퍼 고정 방법은 크게 Mechanical Clamp, Vacuum Chuck, ESC(Electrostatic Chuck) 3가지로 나눌 수 있습니다. Mechanical ClampMechanical Clamp는 이름 그대로 물리적으로 웨이퍼를 무는 방식입니다. Chuck 위에 웨이퍼를 올린 후, 웨이퍼의 윗 표면을 기계적으로 누름으로써 웨이퍼를 고정시키는 원리입니다..