주로 플라즈마 식각 (Plasma Etching) 또는 건식 식각 (Dry Etching) 설비에서 사용되는 부품인 Focus Ring에 대해 알아보도록 하겠습니다. Focus RingFocus Ring은 Wafer를 고정하는 홀더를 감싸도록 구성되어 있는데, 구조 및 위치는 아래와 같습니다. (Top, Bottom) 또는 (Inner, Outter) 등 회사마다 다양하게 불리는 것 같습니다. Focus Ring의 역할1. 플라즈마 균일화Foucs Ring은 가장자리에 위치하여 플라즈마가 새어나가지 않도록 분포를 조절함으로써 Uniformity를 향상시키는 역할을 합니다. 이를 통해 Etch 공정이 웨이퍼 전체에 균일하게 일어나도록 하는 것입니다. 2. 웨이퍼 및 ESC 보호식각 공정 중 웨이퍼 가장..
