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[반도체 설비] 진공 펌프(Vacuum Pump)의 역할과 종류

반도체 제조 공정에서는 진공 상태를 유지하는 것이 필수적입니다. 웨이퍼 표면의 오염 방지, 균일한 증착 및 식각 공정 등을 위해 진공 환경이 필요하기 때문입니다. 이러한 환경을 구현하는 데 핵심적인 역할을 하는 장치가 바로 진공 펌프(Vacuum Pump)입니다. 이번 글에서는 반도체 공정에서 사용되는 진공 펌프의 주요 종류와 역할, 기술적 특징에 대해 자세히 알아보겠습니다.  진공 펌프의 역할진공 펌프는 공기 및 기타 가스를 제거하여 특정한 수준의 진공 상태를 유지하거나 생성하는 장치입니다. 진공 펌프의 대표적인 역할들은 다음과 같습니다.오염 방지: 진공 상태를 통해 불순물을 최소화시켜, 웨이퍼 표면에 불순물이 접촉하지 않도록 방지할 수 있습니다.플라즈마에 영향: 압력 정도에 따라 플라즈마 형성에 필요..

사람은 하루의 약 3분의 1을 잠으로 보낸다. 하지만 대부분 사람들이 잠이 중요하다는 것은 알지만, ‘얼마나’ 중요한지는 잘 모른다. 잠이 부족해졌을 때 우리 몸과 삶에 얼마나 많은 영향을 끼칠 수 있는지에 대해 잘 모른다. 잠의 중요성에 대한 이해 부족은 수면 부족에 대한 경각심 부족으로 이어진다고 보인다. 솔직히 개인에게만 잘못이 있다고 생각하지 않는다. 잘못된 인식을 바로 잡기 위해서 잠의 중요성을 교육하지 않는 사회에도 책임이 있다고 생각한다. 더군다나 수면 부족을 유발하는 과도한 업무 및 학업 등의 환경을 방관하는 사회 분위기는 덤이다. 이 책은 두 가지 주요 질문에 답하고자 한다. “우리가 왜 자야 하는지”, “수면 부족이 우리에게 어떤 영향을 미치는지”. 수면의 중요성을 다양한 측면에서 체계..

많은 반도체 공정 장비가 진공 환경을 활용합니다. 압력에 따라 플라즈마 생성 조건과 박막의 퀄리티 등이 변할 수 있고, particle로 인한 문제를 줄이기 위해서 등의 다양한 이유 때문입니다. 압력 게이지는 이 압력을 측정하고 모니터링하는 장치입니다. 진공 환경에서 사용하는 게이지를 진공 게이지라 칭하며, 반도체 업계에서 많이 사용됩니다. 진공 게이지는 측정 방식에 따라 측정할 수 있는 압력 범위가 차이 납니다. 크게 직접 게이지(Direct Gauge)와 간접 게이지(Indirect Gauge)로 나뉩니다. 직접 게이지 (Direct Gauge)직접 게이지는 압력과 관련된 값을 측정하기 때문에 기체의 조성과는 상관 없습니다. 직접 게이지는 대표적으로 부르동 게이지가 있습니다. Bourdon Gauge..