공돌이 Teo의 이것저것

[반도체 기업 분석] KLA, 케이엘에이 : 계측 검사 장비의 왕

KLA는 반도체 제조 공정에서 필수적인 계측 및 검사 장비를 공급하는 글로벌 선도 기업입니다. 계측과 검사 장비로 반도체 장비사 TOP5 안에 드는 회사이기에 그 위상을 알 수 있을 것 같습니다. KLA는 1976년에 설립되어 미국 캘리포니아주의 밀피타스에 본사를 두고 있으며, 전 세계 많은 국가에 지사를 운영하고 있습니다. 물론 한국에도 존재합니다!    예전에는 KLA와 Tencor Instruments의 합병으로 KLA-Tencor 였으나, 2019년 이후로 다시 KLA로 사명이 변경되었습니다. (한국 지사는 아직 케이엘에이텐코코리아가 사명인 것 같긴 합니다.) 예전 로고에 비해 정말 깔끔하고 이뻐진 것 같습니다.KLA는 반도체 제조 공정의 수율 관리와 품질 보증을 위한 계측 및 검사 (Metrol..

[반도체 설비] N2 Purge System (질소 퍼지 시스템)

반도체 제조 공정에서 N2 Purge(질소 퍼지)는 매우 중요한 역할을 합니다. 질소는 비활성 기체로 화학적으로 안정적이며, 반도체 제조 환경에서 많이 활용됩니다. 반도체 공정 장비에서 N2 Purge가 사용되는 이유와 그 원리, 활용 방안을 자세히 설명하겠습니다. N2 Purge의 필요성1. 산화 방지반도체 공정 중에 사용되는 재료들은 특정 기체들과 반응하여 표면에 산화막이나 오염이 발생할 수 있습니다. 이는 제품의 품질을 저하시킬 수 있으므로, 질소를 사용하여 산소를 포함한 기체들을 배제해야 합니다. 2. 습기 제거공기 중의 수분은 반도체 공정에 부정적인 영향을 미칠 수 있습니다. 특히, 고온 공정에서는 수분이 화학적 반응을 유발하거나 부식성을 증가시킬 수 있기 때문에, 질소 퍼지를 통해 습기를 제거..

존 스튜어트 밀의 '자유론 (On Liberty)'는 19세기 중반, 자유와 개인의 권리를 탐구한 철학적인 책이다. 밀은 개인의 자유와 사회적 규범 사이의 균형을 탐구하며, 개인이 자신을 실현할 수 있는 사회적 조건을 논의한다.현대에는 기술의 발달과 인식의 변화로 사람들의 다양한 의견이 개진되는 듯 보인다. 하지만 다수의 의견에 의해서 소수의 의견이 묵살되는 ‘다수의 횡포’는 여전하게, 아니 더 자주 목격할 수 있다. 이로써 사회는 개인에게 동일한 행동과 생각을 요구하곤 한다. 특히 우리나라는 서구권 국가에 비해서 그 정도가 심한 듯 하다. 상대방의 눈치를 보고, 생각이 다르면 적으로 간주하는 것도, 연예인들에게 과잉 도덕을 요구하는 것도. 존 스튜어트 밀은 무려 19세기에 사람들의 획일화를 경계하여, ..

이 책은 닌텐도라는 회사를 성공적으로 이끈 ‘이와타 사토루’에 대한 내용을 담고 있다. 이와타 본인이 출간한 저서가 아니라, 신문에 게재된 사토루의 발언을 재구성하여 쓴 책이기에 내용적인 아쉬움이 많았다. 그럼에도 그가 어떤 마인드를 가지고 프로그래머로서, CEO로서 일을 했는지에 관해 알 수 있었고, 배울 수 있었다. 이와타는 HAL연구소라는 회사에서 아르바이트, 사원을 거쳐 대표이사까지 역임한 후, 닌텐도에 스카우트되어 CEO까지 역임하였다. 닌텐도DS와 Wii의 성공을 이끌어냈고, 후속작에서는 죽을 쒔으나 현재 대성공을 거둔 닌텐도 스위치를 준비하는 크나 큰 역할을 했다. 그는 개발자 출신이였기에 개발자의 생각을 누구보다 잘 아는 경영자였다. 이와 더불어 자신과 회사가 항상 무엇을 잘하고 무엇에 서..

예전에 니체의 ‘차라투스트라는 이렇게 말했다’를 읽고자 했으나, 책이 워낙 어려워 포기했었다. 해설 도서를 통해서라도 접하고 싶어 이 책을 읽게 되었다. 이 책을 통해 우리가 어떻게 살아가야하는지에 대해 많은 생각을 하는 계기가 되었다. 또한 내가 기존에 가진 가치관과 매우 흡사해서 신기하기도 했다.  삶에 대한 신뢰가 사라진 허무주의 시대 속에서, 세상 살아가기는 더 힘들어지고 있다. 하지만 우리는 그럼에도 우리 자신의 삶을 살아가야 한다. 어떻게 하면 이런 삶도 사랑할 수 있을까? 니체는 인간을 극복해야할 존재로 보았다. 나아가야 할 이상향으로 ‘초인’이라는 개념을, 이와 대비되는 존재로 ‘마지막 인간’이라는 개념을 사용했다. 초인이 되기 위해서, 니체는 자신을 경멸할 필요가 있다고 한다. 자존감을 ..

반도체 제조 공정에서는 진공 상태를 유지하는 것이 필수적입니다. 웨이퍼 표면의 오염 방지, 균일한 증착 및 식각 공정 등을 위해 진공 환경이 필요하기 때문입니다. 이러한 환경을 구현하는 데 핵심적인 역할을 하는 장치가 바로 진공 펌프(Vacuum Pump)입니다. 이번 글에서는 반도체 공정에서 사용되는 진공 펌프의 주요 종류와 역할, 기술적 특징에 대해 자세히 알아보겠습니다.  진공 펌프의 역할진공 펌프는 공기 및 기타 가스를 제거하여 특정한 수준의 진공 상태를 유지하거나 생성하는 장치입니다. 진공 펌프의 대표적인 역할들은 다음과 같습니다.오염 방지: 진공 상태를 통해 불순물을 최소화시켜, 웨이퍼 표면에 불순물이 접촉하지 않도록 방지할 수 있습니다.플라즈마에 영향: 압력 정도에 따라 플라즈마 형성에 필요..

사람은 하루의 약 3분의 1을 잠으로 보낸다. 하지만 대부분 사람들이 잠이 중요하다는 것은 알지만, ‘얼마나’ 중요한지는 잘 모른다. 잠이 부족해졌을 때 우리 몸과 삶에 얼마나 많은 영향을 끼칠 수 있는지에 대해 잘 모른다. 잠의 중요성에 대한 이해 부족은 수면 부족에 대한 경각심 부족으로 이어진다고 보인다. 솔직히 개인에게만 잘못이 있다고 생각하지 않는다. 잘못된 인식을 바로 잡기 위해서 잠의 중요성을 교육하지 않는 사회에도 책임이 있다고 생각한다. 더군다나 수면 부족을 유발하는 과도한 업무 및 학업 등의 환경을 방관하는 사회 분위기는 덤이다. 이 책은 두 가지 주요 질문에 답하고자 한다. “우리가 왜 자야 하는지”, “수면 부족이 우리에게 어떤 영향을 미치는지”. 수면의 중요성을 다양한 측면에서 체계..

많은 반도체 공정 장비가 진공 환경을 활용합니다. 압력에 따라 플라즈마 생성 조건과 박막의 퀄리티 등이 변할 수 있고, particle로 인한 문제를 줄이기 위해서 등의 다양한 이유 때문입니다. 압력 게이지는 이 압력을 측정하고 모니터링하는 장치입니다. 진공 환경에서 사용하는 게이지를 진공 게이지라 칭하며, 반도체 업계에서 많이 사용됩니다. 진공 게이지는 측정 방식에 따라 측정할 수 있는 압력 범위가 차이 납니다. 크게 직접 게이지(Direct Gauge)와 간접 게이지(Indirect Gauge)로 나뉩니다. 직접 게이지 (Direct Gauge)직접 게이지는 압력과 관련된 값을 측정하기 때문에 기체의 조성과는 상관 없습니다. 직접 게이지는 대표적으로 부르동 게이지가 있습니다. Bourdon Gauge..

주로 플라즈마 식각 (Plasma Etching) 또는 건식 식각 (Dry Etching) 설비에서 사용되는 부품인 Focus Ring에 대해 알아보도록 하겠습니다.  Focus RingFocus Ring은 Wafer를 고정하는 홀더를 감싸도록 구성되어 있는데, 구조 및 위치는 아래와 같습니다.  (Top, Bottom) 또는 (Inner, Outter) 등 회사마다 다양하게 불리는 것 같습니다. Focus Ring의 역할1. 플라즈마 균일화Foucs Ring은 가장자리에 위치하여 플라즈마가 새어나가지 않도록 분포를 조절함으로써 Uniformity를 향상시키는 역할을 합니다. 이를 통해 Etch 공정이 웨이퍼 전체에 균일하게 일어나도록 하는 것입니다. 2. 웨이퍼 및 ESC 보호식각 공정 중 웨이퍼 가장..

MFC (Mass Flow Controller)반도체 제조 공정에서는 정확하고 정밀한 가스 제어가 필수적입니다. 많은 공정 설비들이 가스를 사용하기에, 대부분 MFC가 사용됩니다. MFC는 다양한 공정 가스의 유량을 제어하고 조절하는 장비로, 공정의 품질과 효율성을 결정짓는 중요한 역할을 합니다. 오늘은 이 MFC에 대해 알아보도록 하겠습니다.  SCCM이란? MFC에서는 주로 'sccm' 라는 단위를 사용합니다. sccm은 'Standard Cubic Centimeter per Minute'의 약자입니다. sccm은 표준상태 (0℃, 대기압)에서 기체가 몇 cc 흐르는지를 나타내는 단위라고 할 수 있겠습니다. 유량을 나타낼 때에는 보통 체적(volumetric) 유량과 질량(mass) 유량으로 나뉩니다..