공돌이 Teo의 이것저것

OHT (Overhead Hoist Transport)웨이퍼가 담겨있는 용기인 FOUP, FOSB 등을 이동시키는 물류 시스템을 의미합니다. 실제 반도체 라인에서 쉽게 볼 수 있는데, 머리 위로 활발하게 움직이고 있는 로봇?입니다. 기존에는 사람이 일일이 웨이퍼를 설비로 직접 이송시켜야했지만, 현재는 OHT가 그 역할을 하고 있습니다. 물론 웨이퍼의 층간 이동은 여전히 어렵기 때문에, 사람들이 카트에 실어 직접 이송시키고 있습니다. OHT는 원하는 설비로 원하는 시간에 웨이퍼를 이송시킬 수 있는 자율주행시스템이라고 할 수 있겠습니다. 다양한 센서가 있기 때문에 안전하고 신호에 맞게 속도를 감소시키거나 증가시키거나 하면서 원하는 곳으로 이동하게 됩니다. 또한 운송, 고장 등의 상황에서 알람을 통해 알려주곤..

EFEM ( Equipment Front End Module )각 공정 설비들은 크게 이송 및 실제 공정을 진행하는 모듈(PM)과 EFEM으로 이루어집니다. (Chamber까지 이송하는 TM: Transfer Module이 있는 경우도 있습니다.) 이 EFEM은 반도체 제조 공정이 원활하게 이루어질 수 있도록 웨이퍼의 이송을 담당하는 모듈입니다. 다양한 반도체 공정 설비들이 FOUP과 설비 간 웨이퍼를 반송하기 위해 이 모듈을 사용합니다.EFEM은 크게 Load Port, ATM Robot, Aligner로 구성됩니다.Load Port ModuleLoad Port Module은 웨이퍼가 담긴 FOUP이 위치하게 되는 곳입니다. FOUP이 OHT에 의해 Load Port에 위치하게 되는데, 설비에 의해 F..

FOUP (  Front Opening Unified Pod )직역하자면 앞이 열리는 통합된 공간? 입니다. 간단히 말하면, 앞이 열리는 웨이퍼 보관 및 이동을 위해 사용되는 용기입니다.웨이퍼가 얇아 깨지기 쉽기 때문에 보호하기 위한 목적도 있습니다만... 클린룸에서 사람들이 방진복을 입는 만큼 반도체 공정은 미세입자 또는 불순물인 Particle에 굉장히 민감합니다. 이 Particle로부터 Wafer를 보호하기 위함이 가장 큰 목적입니다. 공정 설비 간 이동에서 먼지로부터 Wafer를 보호하기 위한 것이죠!실제 Line에서는 OHT라는 장비를 통해, FOUP을 각 공정 장비의 Load Port로 이동시킵니다. (사람이 직접 FOUP을 들고 Load Port에 직접 놓는 경우도 있습니다.) Load P..