FOUP ( Front Opening Unified Pod )직역하자면 앞이 열리는 통합된 공간? 입니다. 간단히 말하면, 앞이 열리는 웨이퍼 보관 및 이동을 위해 사용되는 용기입니다.웨이퍼가 얇아 깨지기 쉽기 때문에 보호하기 위한 목적도 있습니다만... 클린룸에서 사람들이 방진복을 입는 만큼 반도체 공정은 미세입자 또는 불순물인 Particle에 굉장히 민감합니다. 이 Particle로부터 Wafer를 보호하기 위함이 가장 큰 목적입니다. 공정 설비 간 이동에서 먼지로부터 Wafer를 보호하기 위한 것이죠!실제 Line에서는 OHT라는 장비를 통해, FOUP을 각 공정 장비의 Load Port로 이동시킵니다. (사람이 직접 FOUP을 들고 Load Port에 직접 놓는 경우도 있습니다.) Load P..
