반도체 공정에서는 나노미터(nm) 단위의 정밀한 박막을 다루기 때문에, 정확한 계측 기술이 필수적입니다. 그중에서도 타원 편광계(Ellipsometry) 는 박막의 두께와 굴절률을 비접촉, 비파괴 방식으로 측정할 수 있어 반도체, 디스플레이, 태양광 산업에서 광범위하게 활용됩니다.오늘은 이 타원 편광계의 원리부터 장단점, 반도체 산업에서의 응용까지 한 번에 정리해 보겠습니다! 🔎 타원 편광계(Ellipsometry)란?타원 편광계는 빛이 물질의 표면에서 반사될 때 편광 상태가 어떻게 변하는지 를 측정하여 박막의 특성을 분석하는 장비입니다. 📌 측정할 수 있는 주요 물성✅ 박막의 두께✅ 굴절률 (Refractive Index, n)✅ 소산 계수 (Extinction Coefficient, k)✅ 박막..
