반도체 제조 공정은 극한의 정밀도와 제어가 요구되며, 이에 따라 계측 및 공정 제어 장비의 중요성은 날로 커지고 있습니다. 이 분야에서 Nova Measuring Instruments(이하 Nova)는 1993년 이스라엘 레호보트에서 설립된 이래, 첨단 메트롤로지 솔루션을 통해 글로벌 반도체 시장에서 혁신의 아이콘으로 자리매김해왔습니다.
기업 소개
Nova는 반도체 제조 공정의 핵심 단계인 공정 제어를 위해 여러 고성능 계측 솔루션을 제공합니다. 본사는 이스라엘에 위치하고 있으며, 미국, 독일, 아시아 등 전 세계 주요 지역에 지사와 고객 지원 네트워크를 갖추고 있습니다. 나스닥과 텔아비브 증권거래소에 상장되어 있습니다!
포트폴리오
Nova의 포트폴리오는 다음과 같습니다.
Dimensional Metrology
반도체 제조 과정에서 치수(critical dimensions), 형상, 두께 등 물리적 특성을 실시간으로 측정하여 공정 제어를 지원합니다.
1. 통합 메트롤로지 (Integrated Metrology)
- Nova i570® HP, Nova i550®, Nova i500®
- 특징: 제조 라인에 직접 통합되어 인라인 측정을 수행합니다.
- 장점: 실시간 피드백을 통해 공정 편차를 빠르게 조정할 수 있어 생산 효율 및 수율 개선에 기여합니다.
2. 독립형 메트롤로지 (Stand-Alone Metrology)
- Nova Prism, Nova MMSR+, Nova T550®, Nova T500®
- 특징: 개별 계측 장비로 설치되어, 필요 시 빠른 교정 및 정밀 측정을 수행합니다.
- 장점: 공정 중 단독으로 혹은 별도의 검사 라인에서 사용 가능하여, 복잡한 구조의 미세 치수 측정에 적합합니다.
3. Fleet Connectivity & Control
- Nova Fleet Management®
- 특징: 계측 장비의 상태 모니터링, 데이터 통합, 원격 제어 및 관리 솔루션을 제공합니다.
- 장점: 여러 계측 장비를 중앙에서 관리함으로써, 공정 데이터를 신속하게 수집하고 분석할 수 있습니다.
Materials Metrology
반도체 공정에서 사용되는 박막, 코팅 및 기타 재료의 물리적 특성을 정밀하게 측정하여 재료 품질을 보증합니다.
1. Nova VeraFlex® 시리즈
- Nova VeraFlex® III, Nova VeraFlex® III+, Nova VeraFlex® IV
- 특징: 박막 두께, 균일성, 및 기타 재료 특성을 고정밀로 측정합니다.
- 장점: 다양한 박막 공정에 적용 가능하며, 고객별 맞춤형 분석 옵션을 제공합니다.
2. Nova QED 및 Nova RACS
- 특징: 보다 복잡한 재료 특성(예: 반도체 소자 내의 다양한 물리적 파라미터)을 분석할 수 있도록 설계되었습니다.
- 장점: 고급 분석 알고리즘과 소프트웨어와 연동되어, 정밀한 재료 평가가 가능합니다.
Nova Metrion® 및 Nova Elipson®
- 특징: 재료 메트롤로지의 특수 응용 분야에 대응하는 솔루션으로, 추가적인 측정 기능과 유연성을 제공합니다.
Chemical Metrology
반도체 공정에서 화학적 성분 및 공정 반응을 정밀하게 측정하여, 도금, 증착 및 기타 화학 공정의 품질을 관리합니다.
1. Nova Ancolyzer®
- 특징: 반도체 제조 공정에서 사용되는 화학적 분석 및 모니터링 장비로, 정밀한 화학 성분 측정을 지원합니다.
2. Nova DMR®, Nova AncoScene®, Nova AncoFlex™
- 특징: 각 제품은 고유의 센서와 분석 알고리즘을 탑재하여, 다양한 화학 공정에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
- 장점: 신속한 반응 시간과 높은 정확도를 통해 공정 중 발생할 수 있는 화학적 이상 상황을 빠르게 파악할 수 있습니다.
소프트웨어 솔루션 및 데이터 분석
하드웨어 계측 데이터의 집적 및 분석을 통해, 공정 최적화 및 예측 모델링을 지원합니다.
1. Nova Fleet Infrastructure / Nova Fleet Management®
- 역할: 계측 장비의 네트워크 관리를 통해 데이터를 통합하고, 공정 상태를 실시간으로 모니터링합니다.
2. Nova Fit®, Nova MARS®
- 역할: 고급 알고리즘과 머신러닝을 활용하여, 측정 데이터를 분석하고, 최적화 모델을 구축합니다.
- 장점: 데이터 기반의 인사이트를 제공하여, 제조 공정의 효율성 및 수율 개선에 기여합니다.
한국에서의 활동
Nova Measuring Instruments Korea(노바메저링인스트루먼트코리아)는 2011년 경기도 화성에 설립되어, 국내 반도체 제조업체와 긴밀한 협력 관계를 구축하고 있습니다. 한국 지사는 현지 엔지니어와 기술 지원 팀을 통해 고객사의 설비 Set-up, 유지보수, 교육 및 기술 지원을 제공하며, 지속적인 기술 업그레이드와 현장 맞춤형 솔루션을 전개하고 있습니다.
회사 홈페이지를 기반으로 하여 개인적으로 작성한 정보이며, 부정확할 수도 있습니다.
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