원익IPS는 1991년에 설립된 반도체 및 디스플레이 제조용 핵심 장비를 생산하는 선도 기업으로, 여러 글로벌 기업에 장비를 공급하며 30년 이상의 기술력을 보유하고 있습니다. 특히 삼성전자 주거래 업체로서의 위상과 함께, 해 외 5개 법인과 1개 지사를 통한 글로벌 시장 확대로 성장 동력 확보. 아토, 아이피에스, 원익테라 세미콘 등 다수 기업의 인수합병을 통해 기술 경쟁력을 강화하고 사업 영역을 확대하고 있습니다.
원익IPS
원익IPS는 원익그룹에 속한 자회사로, 그룹 내 여러 계열사와 협력하며 반도체뿐만 아니라 디스플레이, 태양광, 2차 전지 분야에도 사업을 확장하고 있습니다.
삼성전자의 반도체 장비 국산화 과정에서 원익IPS는 핵심적인 역할을 담당했습니다. 삼성전자가 자회사인 세메스를 통해서 Etch, Clean 장비를 국산화했다면, 원익IPS는 Depo 장비를 중심으로 국산화에 앞장섰다고 볼 수 있습니다. 1997년에는 삼성전자와 공동 연구를 통해 ALD 장비 시스템 개발했으며, 1998년 국내 최초 양산용 200mm ALD 장비 상용화에 성공했습니다. 원익IPS는 매출액 대비 약 15.5%를 연구개발(R&D)에 투자하며, 이는 해외 상위 장비업체와 견줄 만한 수준의 투자입니다. 이러한 적극적인 R&D 투자를 통해 첨단 기술 개발과 제품 혁신을 지속하고 있습니다.
올해 하반기에는 D램 선단공정 투자 확대와 디스플레이 고객사의 8세대 IT OLED 전환투자에 따라 실적 개선이 예상된다고 합니다. 특히, V9 낸드 전환투자와 관련하여 신규 장비인 ONO ALD 장비 공급을 시작할 예정으로, 고객사 내 점유율 상승이 기대되고 있습니다.
경쟁사
원익IPS는 국내외 여러 기업과 경쟁하고 있습니다.
국내 경쟁사: 주성엔지니어링, 유진테크 등
해외 경쟁사: 어플라이드 머티리얼즈, 램리서치, 도쿄일렉트론 등
제품 및 기술 포트폴리오
1. 증착 (Depo) 장비
- GEMINI (CVD/ALD 시스템)
GEMINI는 플라즈마 화학 기상 증착(PECVD) 시스템으로, 반사 방지막(ARC, anti-reflective coating)과 하드 마스크 절연막(dielectric)을 증착하는 데 사용됩니다. 이 장비는 20nm 이하 D램 공정과 로직 디바이스 생산용 더블 패터닝(DPT), 쿼드 패터닝(QPT) 하드 마스크 공정에 적용되며, 우수한 균일성과 생산성을 자랑합니다.
- WIDAS (산화막 증착 장비)
WIDAS는 WINAS의 확장 플랫폼으로, 배치당 처리 능력을 향상시켰으며, 향상된 핵심 모듈 기술(히터, 로봇, 컨트롤러)이 적용되어 우수한 공정 능력을 제공합니다.
그 외에 NOA, HYETA 등 다양한 제품이 존재합니다.
2. 식각 (Etch) 장비
원익IPS는 2007년부터 LCD 박막 트랜지스터(TFT) 공정용 Dry Etch 설비를 양산 공급하였으며, 2012년에는 OLED용 Dry Etch 시장에 진입하였습니다. 이 장비는 정밀한 패턴 형성을 지원하며, 최근에는 중국 시장까지 사업을 확대하고 있습니다.
또한 R.I.E라는 RIE(Reactive Ion Etching) 설비를 태양광 웨이퍼 대량 생산 라인에 공급하고 있습니다. 신규 플라즈마 기술 "접지 마스크"를 적용해 식각률을 1.5배로 늘리면서 습식 식각장비 대비 경쟁력을 확보했다고 합니다.
3. 열처리 (Thermal) 장비
- Cryster Series
디스플레이 공정 중에 필요한 열처리 공정에 특화된 여러 장비들이 있습니다.
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