공돌이의 이것저것

현대 산업에서 표면 분석 기술은 재료의 성질을 정확하게 이해하고 최적화하는 데 필수적인 역할을 합니다. 그중 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy, 광전자분광법) 은 반도체를 비롯한 다양한 산업에서 표면 화학 조성과 결합 상태를 정밀하게 분석하는 기법으로 활용되고 있습니다. 이번 글에서는 XPS의 원리와 반도체뿐만 아니라 다양한 산업 분야에서의 응용 사례를 살펴보겠습니다.XPS의 원리XPS는 시료 표면에 X선을 조사하고, 방출된 광전자의 운동 에너지를 측정하여 원소의 화학 조성과 결합 상태를 분석하는 기법입니다.1. 광전효과와 결합 에너지XPS는 아인슈타인의 광전효과(Photoelectric Effect)를 기반으로 합니다. \[E_{B} = hν − (E_{K}+ϕ)\] \..

반도체 공정에서는 나노미터(nm) 단위의 정밀한 박막을 다루기 때문에, 정확한 계측 기술이 필수적입니다. 그중에서도 타원 편광계(Ellipsometry) 는 박막의 두께와 굴절률을 비접촉, 비파괴 방식으로 측정할 수 있어 반도체, 디스플레이, 태양광 산업에서 광범위하게 활용됩니다.오늘은 이 타원 편광계의 원리부터 장단점, 반도체 산업에서의 응용까지 한 번에 정리해 보겠습니다!  🔎 타원 편광계(Ellipsometry)란?타원 편광계는 빛이 물질의 표면에서 반사될 때 편광 상태가 어떻게 변하는지 를 측정하여 박막의 특성을 분석하는 장비입니다. 📌 측정할 수 있는 주요 물성✅ 박막의 두께✅ 굴절률 (Refractive Index, n)✅ 소산 계수 (Extinction Coefficient, k)✅ 박막..

원자현미경(AFM)이란?원자현미경(AFM, Atomic Force Microscopy)은 나노미터 수준의 해상도를 제공하는 주사 탐침 현미경(Scanning Probe Microscopy, SPM) 중 하나로, 표면의 원자 구조를 직접 관찰하고 분석할 수 있는 도구입니다. AFM은 전자현미경(SEM, TEM)과 달리 시료의 전도성을 요구하지 않으며, 다양한 환경(공기, 액체, 진공)에서 측정이 가능합니다. AFM의 원리AFM은 매우 정밀한 탐침(Probe)을 이용하여 시료 표면을 주사하면서 표면의 형태(Topography)를 측정합니다. 기본 측정 원리 및 과정은 다음과 같습니다.  탐침과 시료 표면 간의 상호작용: AFM 탐침은 시료 표면과의 원자 간력(반데르발스 힘, 정전기력, 화학적 결합 등)에 의..

파크시스템스(Park Systems)는 첨단 나노 계측 장비를 개발, 생산, 판매하는 글로벌 기술 벤처 기업으로, 특히 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM) 분야에서 세계적인 선두주자입니다. 이 AFM은 시료를 nm수준에서 측정 및 분석할 수 있게 해주는 장비입니다. 기존에는 나노계측이 필요한 연구 분야에서만 사용됐지만, 현재는 배터리나 반도체 등의 산업 분야에서 도입되는 계측장비로 거듭나고 있습니다. 반도체 관련 주식에 관심 있으신 분들은 이미 많이 아실 것으로 생각됩니다. 글 작성일 기준으로 시가총액이 1조 4천억원 정도 되며, 꾸준히 성장하고 있는 기업입니다.   파크시스템스 역사1985년, 박상일 대표이사가 스탠포드 대학교 박사과정 중 원자현미경을 공동 발명하였습니다. ..

원익IPS는 1991년에 설립된 반도체 및 디스플레이 제조용 핵심 장비를 생산하는 선도 기업으로, 여러 글로벌 기업에 장비를 공급하며 30년 이상의 기술력을 보유하고 있습니다. 특히 삼성전자 주거래 업체로서의 위상과 함께, 해 외 5개 법인과 1개 지사를 통한 글로벌 시장 확대로 성장 동력 확보. 아토, 아이피에스, 원익테라 세미콘 등 다수 기업의 인수합병을 통해 기술 경쟁력을 강화하고 사업 영역을 확대하고 있습니다.  원익IPS원익IPS는 원익그룹에 속한 자회사로, 그룹 내 여러 계열사와 협력하며 반도체뿐만 아니라 디스플레이, 태양광, 2차 전지 분야에도 사업을 확장하고 있습니다.  삼성전자의 반도체 장비 국산화 과정에서 원익IPS는 핵심적인 역할을 담당했습니다. 삼성전자가 자회사인 세메스를 통해서 E..

Screen (스크린)SCREEN는 일본에 본사를 둔 글로벌 반도체 및 디스플레이 장비 제조업체로, 특히 반도체 제조 공정에서 핵심적인 역할을 하는 세정 및 공정 장비 분야에서 두각을 나타내고 있습니다. 이 세정 분야에서는 1등을 하고 있는 기업으로 유명합니다. 오랜 R&D 경험과 기술 혁신을 바탕으로, 고순도 세정, 웨이퍼 이송 및 코팅/현상 장비 등 다양한 솔루션을 제공하며, 전 세계 반도체 파운드리 및 IDM(종합 반도체 업체) 업체들과 긴밀한 협력을 이어가고 있습니다.  제품 및 기술 포트폴리오 (1) 세정 시스템 (Wafer Cleaning Systems)첨단 세정 기술SCREEN은 메가소닉, 초음파, DI(De-Ionized) 워터 세정 기술 등을 결합한 장비를 통해, 웨이퍼 표면의 미세 입자..

반도체 제조 공정에서 정밀하고 안정적인 진공 기술은 핵심 역할을 합니다. 이러한 분야에서 100년 이상의 전통과 혁신을 자랑하는 Edwards는 최첨단 진공 솔루션을 통해 반도체 산업의 발전을 견인해 오고 있습니다. 이번 포스팅에서는 Edwards의 역사, 제품 및 기술 포트폴리오, 그리고 한국 시장에서의 활동에 대해 자세히 알아보겠습니다.  진공 펌프에 관해 알고 싶으시다면, 다음 글을 참조하시면 되겠습니다. [반도체 설비] 진공 펌프(Vacuum Pump)의 역할과 종류반도체 제조 공정에서는 진공 상태를 유지하는 것이 필수적입니다. 웨이퍼 표면의 오염 방지, 균일한 증착 및 식각 공정 등을 위해 진공 환경이 필요하기 때문입니다. 이러한 환경을 구현하는teoengineering.tistory.com E..